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电源介绍
INTRODUCTION OF POWER SUPPLY
PST系列射频电源主要应用于等离子体、太阳能电池、显示屏制造等领域,以其优良的控制算法、对功率的精确控制、稳定可靠的持续输出,能够适用于丰富多样的等离子体应用。
电源特点
CHARACTERISTICS OF POWER SUPPLY
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    采用模块化设计,按照行业标准设计。
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    高稳态功率输出。
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    最大效率可达 80%。
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    0.5W 的最小功率控制精度。
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    脉冲输出功能集成。
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    Arc 抑制功能集成。
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    自动频率调谐。
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    丰富的通讯接口。
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    控制指令快速响应。
技术参数
TECHNICAL PARAMETER


型号
PST-AM5K-13MA
PST-AM10K-13MA
供电参数
供电电压24VDC / 87-264VAC24VDC / 87-264 VAC
供电频率50/60HZ(45-65)Hz50/60Hz(45-65)Hz
功率参数

输出功率
5kW10kW
标称功率
5kW10kW
输出频率
13.56MHz±0.5%13.56MHz±0.5%
反射功率
5w or<1% of forward power5w or<1% of forward power
通信接口
接口
模拟量输入,RS232/RS485,Profibus, DeviceNet

环境


工作环境温度
+5°C~+45°C+5°C~+45°C
储存环境温度-25°C~+55°C-25°C~+55°C

相对湿度

5-85%无冷凝
5-85%无冷凝
气压80-106kPa
80-106kPa
其他

防护等级

IP21

IP21
重量外形尺寸

8kg / 368mm x 165mm x 450mm

20kg / 400mm x 230mm x 560mm
冷却方式

水冷+风冷

水冷+风冷
型号
PST-RF5K-13MAPST-RF10K-13MA
输入参数

输入电压

400V-480V±10%(3+PE,No Neutral)

400V-480V±10%(3+PE,No Neutral)
输入频率50/60HZ50/60HZ
输入功率9KVA18KVA
功率因数90%90%
输出参数

额定输出功率5kW
5kW
额定负载阻抗
50Ω50Ω
输出频率13.56MHz±0.5%13.56MHz±0.5%
脉冲频率1Hz-50kHz1Hz-50kHz
功率精度
±1W和设定值的±1%中的较大者±1W和设定值的±1%中的较大者
CEX模式
支持支持
调谐时间
<10ms<10ms
环境

工作环境温度+5°C-+45°C+5°C-+45°C
存储环境温度-25°C-+55°C-25°C-+55°C
相对湿度
5-85%无冷凝
5-85%无冷凝
气压
80 -106kPa80 -106kPa
通信接口

接口
模拟量输入, RS232/RS485,Profibus, DeviceNet
其他

防护等级
IP20IP20
重量30kg50kg
外形尺寸483mmx130mmx500mm483mmx175mmx650mm
效率(50Ω)>78%>75%
冷却方式

水冷

水冷
冷却介质温度

5°C-35°C

5°C-35°C