| 型号 | Bipolar Sputtering BP-6030 | Bipolar Sputtering BP-6040 | Bipolar Sputtering BP-6060 |
| 输入参数 | |||
| 输入电压 | 400V - 480V 10% (3+ PE,No Neutral) | ||
| 输入频率 | 50/60Hz(45-65)Hz | ||
| 最大输入电流 | 3x66A | 3x88A | 3x 132A |
| 输出参数 | |||
| 额定输出功率 | 30kW | 40kW | 60kW |
| 电压范围 | 0-600V/0-1000V | 0-600V/0-1000V | 0-600V/0-1000V |
| 电流范围 | 0-125A/0-75A | 0-166A/0-100A | 0-250A/0-150A |
| 脉冲频率 | 0,1Hz-100kHz | ||
脉冲时间 | Ton: 1-1000 ms Toff: 1-1000 ms | ||
| 工作模式 | 功率、电压、电流 | ||
输出精度 | ±0.5% | ||
| 重复精度 | ±0.2% | ||
| LCD | 支持 | ||
| RS232 | 支持 | ||
| PROFIBUS/RS485 | 支持 | ||
| EtherCAT | 支持 | ||
| 模拟量输入 | 支持 | ||
| ARC检测 | lmax、 Uxl、dU | ||
| ARC能量 | <0.3 mJ/kW | ||
| ARC处理时向 | <100ns | ||
| 工作环境温度 | +5°C~+45° | ||
| 存储环境温度 | -25°C~+55° | ||
| 相对湿度 | 5-85%无冷凝 No condensation | ||
| 气压 | 86-106kPa | ||
| 防护等级 | IP40 | ||
| 外形尺寸 | 480mm x 356mm x 730mm | 480mm x 356mm x 730mm | 480mm x534mm x 730mm |
| 重量 | 98kg | 108kg | 148kg |
| 绝缘阻抗 | ＞5MQ | ||
| 效率 | >90% | ||
| 冷却方式 | 水冷 Water coling | ||
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